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离子源电源

分类:离子源电源

描述:

简介 / Introduction

主要特点:

采用先进的逆变技术和模块IGBT功率开关器件设计,采用PWM脉宽调制技术、体积小,重量轻,电子高速灭弧,性能稳定可靠,,具有抑制靶材弧光放电及自动稳流、过载保护功能。

主要技术参数:

 1、输出电压峰值约2000V

 2、输出频率40KHZ

 3、稳流精度1%

 4、输出电压和占空比分别连续可调

参数表:
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